LOW COMPLIANCE SEAL FOR GAS-ENHANCED WAFER COOLING IN VACUUM,申请号KR19870004806-传众专利搜索

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发明名称	LOW COMPLIANCE SEAL FOR GAS-ENHANCED WAFER COOLING IN VACUUM
摘要
申请公布号	KR960000949(B1)	申请公布日期	1996.01.15
申请号	KR19870004806	申请日期	1987.05.16
申请人	VARIAN ASSOCIATES INC.	发明人	BALLOU, JOHN M.
分类号	H01L21/302;H01L21/67;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/302	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
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