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发明名称 PROCESS FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR960000952(B1) 申请公布日期 1996.01.15
申请号 KR19920003653 申请日期 1992.03.05
申请人 FUJITSU K.K. 发明人 SIRAKAWA, YOSIMI;GANEDA, HIROSI
分类号 H01L21/322;(IPC1-7):H01L21/324 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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