发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE OF SILICON CARBIDE
摘要
申请公布号 JPH088210(A) 申请公布日期 1996.01.12
申请号 JP19940141337 申请日期 1994.06.23
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 HASHIMOTO KOICHI
分类号 H01L21/28;H01L29/161;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
地址