首页
产品
黄页
商标
征信
会员服务
注册
登录
全部
|
企业名
|
法人/股东/高管
|
品牌/产品
|
地址
|
经营范围
发明名称
EXPOSURE SYSTEM, ITS MAGNIFICATION CORRECTING METHOD, AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH088165(A)
申请公布日期
1996.01.12
申请号
JP19940138923
申请日期
1994.06.21
申请人
FUJITSU LTD
发明人
KAWAKAMI KENICHI;MINAMI TAKAYOSHI
分类号
G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利
Станок для изготовления труб с продольным замком из тонкого железа
Кривошипно-шатунный механизм
Способ определения текучести формовочной смеси по методу продавливания
Высокоскоростной турбулентный абсорбционный и теплообменный аппарат
Способ металлизации изделий из стекла
Способ повышения звуконепроницаемости ограждающих конструкций бескаркасных многоэтажных зданий
Устройство для сдвига двоичного кода на любое число разрядов в обе стороны разрядной сетки
Устройство для дозирования длительности и скважности импульсов сварочного тока
Устройство для загрузки крытых железнодорожных вагонов
Способ компенсации неравномерности движения фильма в системах с трубкой бегущего луча
Прибор для вычерчивания образующей криволинейных поверхностей
Антифрикционный порошок из алюминиевого сплава
Способ термической обработки пластических масс
Станок для намотки изделий тончайшим проводом в стеклянной и эмалевой изоляции
Тракторный навесной стогометатель-погрузчик
Диффракционная отражательная антенна бокового облучения с управляемой диаграммой направленности в широком секторе
Стенд для испытания механических и оптических деталей на тряску
Автомат для нарезки резьбы
Способ гашения вибраций в зоне контакта режущего инструмента с обрабатываемым изделием
Станок для полировки и образования отверстий долблением в заготовках и деталях из твердых минералов и сплавов