发明名称 SURFACE PROFILE MEASURING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH085644(A) 申请公布日期 1996.01.12
申请号 JP19940158068 申请日期 1994.06.15
申请人 OLYMPUS OPTICAL CO LTD 发明人 AOYANAGI SHINYA
分类号 G01B11/24;G01B11/30;G01N37/00;G01Q10/02;G01Q30/02;G01Q90/00;H01J37/28;(IPC1-7):G01N37/00 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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