| 发明名称 |
AMORPHOUS CARBON THIN FILM AND ITS PRODUCTION |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH087219(A) |
申请公布日期 |
1996.01.12 |
| 申请号 |
JP19940130058 |
申请日期 |
1994.06.13 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
INABA HIROSHI;KOKADO YUICHI;MATSUMOTO HIROSHI;FUJIMAKI SHIGEHIKO;KITO MAKOTO |
| 分类号 |
C23C16/50;G11B5/187;G11B5/72;G11B5/84;(IPC1-7):G11B5/187 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
