发明名称 THIN-PLATE-MATERIAL DIPPING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH088220(A) 申请公布日期 1996.01.12
申请号 JP19940142028 申请日期 1994.06.23
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD 发明人 NIIHARA KAORU;KURATA YASUHIRO;SAWAMURA MASASHI
分类号 B65G49/04;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B65G49/04
代理机构 代理人
主权项
地址