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发明名称 Vorrichtung mit einem Tiegel in einer Effusionszelle einer Molekularstrahlepitaxieanlage.
摘要
申请公布号 DE59009909(D1) 申请公布日期 1996.01.11
申请号 DE19905009909 申请日期 1990.04.17
申请人 SIEMENS AG, 80333 MUENCHEN, DE 发明人 REITHMAIER, JOHANN-PETER, DIPL.-PHYS., D-8311 NIEDERVIEHBACH, DE;SCHLOETTERER, HEINRICH, DR.-DIPL.-PHYS., D-8011 PUTZBRUNN SOLALINDEN, DE
分类号 C30B23/06;(IPC1-7):C30B23/06 主分类号 C30B23/06
代理机构 代理人
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