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发明名称 Einrichtung zur Manipulation eines Synchrotronstrahlenbündels
摘要
申请公布号 DE4424274(C1) 申请公布日期 1996.01.11
申请号 DE19944424274 申请日期 1994.07.09
申请人 JENOPTIK TECHNOLOGIE GMBH, 07745 JENA, DE 发明人 SEHER, BERND, 07747 JENA, DE;MUELLER, LUTZ, 07747 JENA, DE;REUTHER, FRANK, 07745 JENA, DE
分类号 G21K1/02;G03F7/20;G21K1/04;G21K3/00;G21K5/02;H01L21/027;H05H13/04;(IPC1-7):G21K1/04;H05H7/00 主分类号 G21K1/02
代理机构 代理人
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