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发明名称
Verfahren und Vorrichtung zum Beschichten eines Substrats, insbesondere mit elektrisch nichtleitenden Schichten.
摘要
申请公布号
DE59204502(D1)
申请公布日期
1996.01.11
申请号
DE19925004502
申请日期
1992.10.24
申请人
LEYBOLD AG, 63450 HANAU, DE
发明人
BRAEUER, GUENTER, DR., W-6463 FREIGERICHT 1, DE;SZCZYRBOWSKI, JOACHIM, DR., W-8758 GOLDBACH, DE;TESCHNER, GOETZ, DIPL.-ING., W-6460 GELNHAUSEN, DE
分类号
H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34
主分类号
H01J37/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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