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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH088425(A) 申请公布日期 1996.01.12
申请号 JP19940135816 申请日期 1994.06.17
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TSUTSUMI TOSHIAKI
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;H01L23/52;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/320 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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