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发明名称
摘要
申请公布号	JPH08971(B2)	申请公布日期	1996.01.10
申请号	JP19880121539	申请日期	1988.05.17
申请人		发明人
分类号	C23C14/24;C23C14/32;(IPC1-7):C23C14/32	主分类号	C23C14/24
代理机构		代理人
主权项
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