| 发明名称 |
A method of manufacturing a semiconductor device with aluminium wiring |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2290907(A) |
申请公布日期 |
1996.01.10 |
| 申请号 |
GB19950013748 |
申请日期 |
1994.12.23 |
| 申请人 |
* FUJITSU LIMITED |
发明人 |
YASUSHIGE * ABE;FUMIHIKO * AKABOSHI;KATSUNORI * SHIMIZU;TETSUO * KONDO |
| 分类号 |
C23C14/18;H01L21/02;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/441 |
主分类号 |
C23C14/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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