PROCESS FOR SELECTIVELY DEPOSITING COPPER ALUMINUM ALLOY ONTO A SUBSTRATE,申请号EP19930105865-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	PROCESS FOR SELECTIVELY DEPOSITING COPPER ALUMINUM ALLOY ONTO A SUBSTRATE
摘要
申请公布号	EP0566040(A3)	申请公布日期	1996.01.10
申请号	EP19930105865	申请日期	1993.04.08
申请人	AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.	发明人	FINE, STEPHEN MARK;NORMAN, JOHN ANTHONY THOMAS;DYER, PAUL NIGEL
分类号	C23C16/02;C23C14/16;C23C16/04;C23C16/18;C23C16/20;H01L21/285;H01L21/3205;(IPC1-7):C23C16/04	主分类号	C23C16/02
代理机构		代理人
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