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发明名称 Hiukkaslähde reaktiivista ionisäde-etsaus- tai plasmakerrostuslaitteistoa varten
摘要
申请公布号 FI95340(C) 申请公布日期 1996.01.10
申请号 FI19890000497 申请日期 1989.02.02
申请人 LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT, 发明人 KATZSCHNER,WERNER;EICHHOLZ,STEFAN;GEISLER,MICHAEL;JUNG,MICHAEL
分类号 H05H1/18;C23F4/00;H01J37/08;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):H05H1/46;C23C14/34;H01J27/18;H01J37/147 主分类号 H05H1/18
代理机构 代理人
主权项
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