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发明名称 METHOD OF PRODUCING LAYERS OF SILICON CARBIDE AND AN ASSOCIATED PRODUCT.
摘要
申请公布号 EP0665305(A4) 申请公布日期 1996.01.10
申请号 EP19940927128 申请日期 1994.08.15
申请人 AKTSIONERNOE OBSCHESTVO "RUSSKOE OBSCHETSVO PRIKLADNOI ELEKTRONIKI";MITIN, VLADIMIR VASILIEVICH 发明人 CHERNIKOV, GEORGY EVGENIEVICH;IVANOV, LEONARD STEPANOVICH;ELJUTIN, ALEXANDR VYACHESLAVOVICH
分类号 B32B9/00;C04B35/565;C23C16/30;C23C16/32;C23C16/44;C23C16/455;(IPC1-7):C23C16/32 主分类号 B32B9/00
代理机构 代理人
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