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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING PROCESS
摘要
申请公布号 RU1581124(C) 申请公布日期 1996.01.10
申请号 SU19884478805 申请日期 1988.08.31
申请人 ENISHERLOVA-VELYASHEVA K.L.;MORDKOVICH V.N.;BACHURIN V.V.;VERNIKOV M.A.;LEVIN A.B.;PASHCHENKO P.B. 发明人 ENISHERLOVA-VELYASHEVA K.L.;MORDKOVICH V.N.;BACHURIN V.V.;VERNIKOV M.A.;LEVIN A.B.;PASHCHENKO P.B.
分类号 H01L21/24;(IPC1-7):H01L21/24 主分类号 H01L21/24
代理机构 代理人
主权项
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