| 发明名称 |
METHOD FOR PREVENTING ADHESION OF MATERIAL TO BE DEPOSITED BY EVAPORATION TO PEEP WINDOW |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH083742(A) |
申请公布日期 |
1996.01.09 |
| 申请号 |
JP19940130088 |
申请日期 |
1994.06.13 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
FUJIMA MASAHIRO;UENO MANABU;TSUCHIDA KAZUTERU |
| 分类号 |
C23C14/52;(IPC1-7):C23C14/52 |
主分类号 |
C23C14/52 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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