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发明名称 PREPARATION OF PLANE TEM SAMPLE
摘要
申请公布号 JPH083768(A) 申请公布日期 1996.01.09
申请号 JP19940141710 申请日期 1994.06.23
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 FUKUMOTO KOJI
分类号 C23F4/00;H01L21/66;(IPC1-7):C23F4/00 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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