| 发明名称 |
PARTICLE DECREASING STRUCTURE OF APPARATUS FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH083726(A) |
申请公布日期 |
1996.01.09 |
| 申请号 |
JP19940162603 |
申请日期 |
1994.06.21 |
| 申请人 |
ANELVA CORP |
发明人 |
MASHIRO KAZUHIKO;ITANI SEIJI;FURUYA KOSHI |
| 分类号 |
C23C14/00;C23C16/44;C23F4/00;(IPC1-7):C23C14/00 |
主分类号 |
C23C14/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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