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发明名称 WASHING APPARATUS AND METHOD HAVING DEFOAMING FUNCTION
摘要
申请公布号 JPH08905(A) 申请公布日期 1996.01.09
申请号 JP19940137124 申请日期 1994.06.20
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SHINOMIYA FUMIYOSHI
分类号 B08B3/10;B01D19/00;H01L21/304;(IPC1-7):B01D19/00 主分类号 B08B3/10
代理机构 代理人
主权项
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