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发明名称 Verfahren zur Abscheidung von einem Aluminium als Hauptbestandteil enthaltenden metallischen Film mittels eines Alkylaluminiumhydrids.
摘要
申请公布号 DE69023724(D1) 申请公布日期 1996.01.04
申请号 DE19906023724 申请日期 1990.09.07
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 MIKOSHIBA, NOBUO, TAIHAKU-KU, SENDAI-SHI, MIYAGI-KEN, JP;TSUBOUCHI, KAZUO, TAIHAKU-KU, SENDAI-SHI, MIYAGI-KEN, JP;MASU, KAZUYA, TAIHAKU-KU, SENDAI-SHI, MIYAGI-KEN, JP
分类号 C23C16/42;H01L21/285;(IPC1-7):C23C16/42 主分类号 C23C16/42
代理机构 代理人
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