发明名称 Verfahren zum Herstellen und Justieren eines Halbleiterbauelements
摘要
申请公布号 DE4423112(A1) 申请公布日期 1996.01.04
申请号 DE19944423112 申请日期 1994.07.01
申请人 ROBERT BOSCH GMBH, 70469 STUTTGART, DE 发明人 KRAGL, HANS, DIPL.-ING. DR., 64372 OBER-RAMSTADT, DE;KLOCKENBRINK, RALF, DIPL.-ING., 38118 BRAUNSCHWEIG, DE;WEHMANN, HERGO-HEINRICH, DIPL.-ING. DR., 38527 MEINE, DE
分类号 G02B6/42;H01S5/02;H01S5/022;(IPC1-7):H01L21/58;H01L21/56;H01S3/025;H01L31/02 主分类号 G02B6/42
代理机构 代理人
主权项
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