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发明名称 Verfahren zur Herstellung von Stapelkondensatoren von Halbleitervorrichtungen
摘要
申请公布号 DE19522370(A1) 申请公布日期 1996.01.04
申请号 DE19951022370 申请日期 1995.06.20
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD., SEOUL/SOUL, KR 发明人 CHOI, YANG KYU, ICHON, KR
分类号 H01L27/04;H01L21/02;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
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