| 发明名称 |
Dispositif et procédé pour former un plasma par application de micro-ondes. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2711035(B1) |
申请公布日期 |
1995.12.29 |
| 申请号 |
FR19930011785 |
申请日期 |
1993.10.04 |
| 申请人 |
PLASMION |
发明人 |
WARTSKI LOUIS;AUBERT JEAN |
| 分类号 |
H01J37/32;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46 |
主分类号 |
H01J37/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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