DEVICE AND PROCESS FOR REMOVING PARTICLES FROM OBJECTS

摘要

Die vorliegende Erfindung beschreibt ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Ablösen von Partikeln auf Gegenständen, insbesondere als Alternativverfahren für Ultraschallreinigung oder Reinigung mittels Chemikalien. Die zu reinigenden Gegenstände werden in eine Prozesskammer (14) gebracht, und die Prozesskammer wird mit einer Platte (24) verschlossen. Danach werden die Gegenstände (18) mit Hilfe einer Befeuchtungsvorrichtung (42) befeuchtet. Anschliessend wird die Prozesskammer soweit unter Unterdruck gesetzt bis die Feuchtigkeit auf den Gegenständen in Eis umgewandelt ist. Die Eisschicht wird durch Absenken des Unterdrucks wieder verflüssigt. Durch diese Verfahrensschritte werden die Partikel auf einfache Weise von der Oberfläche der Gegenstände gelöst. Das vorliegende Verfahren zum Ablösen von Partikeln umfasst wahlweise ein nachgeschaltetes Trocknungsverfahren. Das vorliegende Verfahren ist umweltschonend und insbesondere für hochempfindliche Gegenstände geeignet.