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发明名称 RADIO-FREQUENCY ION SOURCE
摘要
申请公布号 EP0621979(B1) 申请公布日期 1995.12.27
申请号 EP19930902673 申请日期 1992.12.11
申请人 HONEYWELL INC. 发明人 AHONEN, ROBERT, G.
分类号 H01J27/16;H01J27/18;H01J37/08;(IPC1-7):H01J27/16 主分类号 H01J27/16
代理机构 代理人
主权项
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