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经营范围
发明名称
PLASMOCHEMICAL ETCHING PLANT
摘要
申请公布号
RU2051441(C1)
申请公布日期
1995.12.27
申请号
SU19914941096
申请日期
1991.03.26
申请人
GOMINYUK SERGEJ BORISOVICH
发明人
GOMINYUK SERGEJ B
分类号
H01L21/302;(IPC1-7):H01L21/302
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
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