发明名称 |
Rolling element cage constraint |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0518372(B1) |
申请公布日期 |
1995.12.27 |
申请号 |
EP19920109949 |
申请日期 |
1992.06.12 |
申请人 |
ETEC SYSTEMS, INC. |
发明人 |
MCCARTHY, DONALD J.;PASTOR, MANUEL |
分类号 |
H01L21/027;F16C29/04;H01J37/20;(IPC1-7):F16C29/04 |
主分类号 |
H01L21/027 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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