电容式位置检测器

摘要

一种电容式位置检测器，它包含具有凹或凸的外形特征区的标尺(10)和包含至少两个发射电极(21a、21b)及由屏蔽电极(21g)隔开的至少一个接收电极(21c)的电极阵列的滑块(20)。滑块(20)发射和接收电极之间的耦合电容(Cac、Cbc)作为标尺外形特征区(11)相对于滑块的位置(X)的函数而变化，对由接收电极接收的信号的变化进行计测能精密测得标尺和滑块之间的相对位移。

主权项

1.一种电容式位置检测器包含：通过给定的距离(H)相互隔开和可沿至少一个测量路径(X)相对移动的滑块(20)和标尺(10)，所述滑块包含：至少两个发射电极(21a、21b)；至少一个接收电极(21c)；产生加给所述发射电极电信号的第一装置(629)；和对由所述接收电极所接收到的信号进行计测的第二装置；其特征在于，标尺(10)包含：至少一个凹或凸的外形特征区(11)，所述第二装置处理在所述滑块上从所述发射电极耦合到所述接收电极的信号，所述标尺外形特征区(11)的构成使得当所述滑块(20)和标尺(10)沿测量路径(X)有相对位移时会通过耦合电容(Cac、Cbc)的变化而影响耦合到所述滑块的所述信号。