Process for the lithographic production of galvanically shaped microstructures having a triangular or trapezoidal cross-section,申请号EP19890119818-传众专利搜索

发明名称	Process for the lithographic production of galvanically shaped microstructures having a triangular or trapezoidal cross-section
摘要
申请公布号	EP0373329(B1)	申请公布日期	1995.12.27
申请号	EP19890119818	申请日期	1989.10.25
申请人	FORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE GMBH	发明人	MANER, ASIM, DR.;MOHR, JUERGEN, DR.
分类号	B81C1/00;C25D1/00;C25D1/10;C25D5/02;G03F7/00;G03F7/12;G03F7/20;(IPC1-7):G03F7/20	主分类号	B81C1/00
代理机构		代理人
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