发明名称 Fabrication of electronic and optoelectronic components.
摘要
申请公布号 EP0652486(A3) 申请公布日期 1995.12.27
申请号 EP19940117344 申请日期 1994.11.03
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED 发明人 BERATAN, HOWARD R.;CHO, CHIH - CHEN;SUMMERFELT, SCOTT R.
分类号 B05D1/40;B05D7/00;B32B27/30;C09D127/12;G03F7/004;G03F7/085;H01L21/312;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):G03F7/085;H01L21/48 主分类号 B05D1/40
代理机构 代理人
主权项
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