发明名称 |
Method of manufacturing micropoint electron source and electron source obtained thereby |
摘要 |
<p>Ce procédé de réalisation d'une source d'électrons comportant un système de conducteurs cathodiques (8), de grilles (10a) superposées avec un isolant intermédiaire (23), et de micropointes (18) déposées sur les conducteurs cathodiques, les grilles étant géométriquement comprises entre un plan inférieur (I) et un plan supérieur (S) est caractérisé en ce que l'on soumet les micropointes à :
<UnorderedLists id="ula01" listStyle="dash"><ListItem>une première étape de nettoyage, puis à :</ListItem><ListItem>une étape d'affinage par gravure superficielle.</ListItem></UnorderedLists></p><p>Application à une structure de micropointes en deux parties.</p> |
申请公布号 |
EP0689222(A2) |
申请公布日期 |
1995.12.27 |
申请号 |
EP19950400910 |
申请日期 |
1995.04.24 |
申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
MEYER, ROBERT;VAUDAINE, PIERRE;RAMBAUD, PHILIPPE |
分类号 |
H01J1/304;H01J9/02;(IPC1-7):H01J9/02;H01J1/30 |
主分类号 |
H01J1/304 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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