| 发明名称 |
METHOD FOR ESTIMATING QUALITY OF ANODIC OXIDE IN THE COURSE OF ITS GROWTH |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
RU1783934(C) |
申请公布日期 |
1995.12.27 |
| 申请号 |
SU19904845668 |
申请日期 |
1990.06.02 |
| 申请人 |
TAGANROGSKIJ RADIOTEKHNICHESKIJ INSTITUT IM.V.D.KALMYKOVA |
发明人 |
BIRYUKOV V.N.;GATKO L.E.;SOROKIN I.N. |
| 分类号 |
H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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