| 发明名称 |
Image projection method and semiconductor device manufacturing method using the same |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0526242(B1) |
申请公布日期 |
1995.12.27 |
| 申请号 |
EP19920307014 |
申请日期 |
1992.07.31 |
| 申请人 |
CANON KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
SUZUKI, AKIYOSHI, C/O KOSUSGI JIGYOSHO, CANON K.K. |
| 分类号 |
G02B27/42;G02B27/46;G02B27/52;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G02B5/32 |
主分类号 |
G02B27/42 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
