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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH07335766(A) 申请公布日期 1995.12.22
申请号 JP19940155202 申请日期 1994.06.14
申请人 SONY CORP 发明人 NISHIHARA TOSHIYUKI
分类号 H01L29/78;H01L21/8238;H01L21/8249;H01L27/06;H01L27/092;(IPC1-7):H01L21/823;H01L21/824 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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