| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR WASHING OF SUBSTRATE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH07335607(A) |
申请公布日期 |
1995.12.22 |
| 申请号 |
JP19940131501 |
申请日期 |
1994.06.14 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
DANSUI YOSHITAKA;HIROFUJI YUICHI |
| 分类号 |
B08B3/10;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
B08B3/10 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
