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发明名称 PLASMA TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07335394(A) 申请公布日期 1995.12.22
申请号 JP19940130126 申请日期 1994.06.13
申请人 HITACHI LTD 发明人 TAMURA NAOYUKI;KAJI TETSUNORI;OGAWA YOSHIFUMI;WATANABE KATSUYA
分类号 H05H1/46;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H05H1/46;H01L21/306 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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