发明名称 PLASMA ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH07335623(A) 申请公布日期 1995.12.22
申请号 JP19940128593 申请日期 1994.06.10
申请人 SONY CORP 发明人 SHINOHARA KEIJI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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