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发明名称 WAFER TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07335616(A) 申请公布日期 1995.12.22
申请号 JP19940122910 申请日期 1994.06.06
申请人 HITACHI LTD 发明人 SATO MINEICHI;YOSHIDA MASAMICHI
分类号 C23C14/56;C23F4/00;H01L21/02;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
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