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发明名称 MICROPROCESSING METHOD AND MANUFACTURE OF FIELD EFFECT TRANSISTOR USING THIS METHOD
摘要
申请公布号 JPH07335672(A) 申请公布日期 1995.12.22
申请号 JP19940133266 申请日期 1994.06.15
申请人 TERA TEC:KK 发明人 MIYAMOTO HIROSHI
分类号 H01L21/302;H01L21/265;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/338;H01L29/78;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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