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发明名称 GETTERING METHOD
摘要
申请公布号 JPH07335655(A) 申请公布日期 1995.12.22
申请号 JP19940125347 申请日期 1994.06.07
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 ISHIZAKA KAZUNORI
分类号 H01L21/322;(IPC1-7):H01L21/322 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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