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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07335828(A) 申请公布日期 1995.12.22
申请号 JP19940123529 申请日期 1994.06.06
申请人 YOKOGAWA ELECTRIC CORP 发明人 IMAMURA MAKOTO;TAKAGI MASATO
分类号 H01L27/04;G06G7/62;H01L21/02;H01L21/822;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
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