| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING SEMICONDUCTOR LAYER USING EDGE SURFACE AS ETCHING SURFACE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07335118(A) |
申请公布日期 |
1995.12.22 |
| 申请号 |
JP19940153130 |
申请日期 |
1994.06.13 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
SUGO MITSURU;TENMYO JIRO;NISHITANI AKIHIKO;KURAMOCHI EIICHI |
| 分类号 |
H01L21/306;H01J3/18;(IPC1-7):H01J3/18 |
主分类号 |
H01L21/306 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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