| 发明名称 |
DESIGN METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07335762(A) |
申请公布日期 |
1995.12.22 |
| 申请号 |
JP19940125406 |
申请日期 |
1994.06.07 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
NISHIYAMA MASAHIKO;USAMI MASAMI;IWABUCHI MASATO |
| 分类号 |
H01L21/3205;H01L21/82;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/82;H01L21/320 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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