发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE, SUPPLY OF ITS IDENTIFIER AND DEFECT ANALYSIS |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH07335510(A) |
申请公布日期 |
1995.12.22 |
申请号 |
JP19940127639 |
申请日期 |
1994.06.09 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SAKATA MASAO;ISHIHARA KAZUKO;SHIMOSHA SADAO |
分类号 |
H01L21/66;H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 |
主分类号 |
H01L21/66 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|