发明名称 Wannen-Bildung für Halbleiter-Bauelemente.
摘要
申请公布号 DE69020772(T2) 申请公布日期 1995.12.21
申请号 DE1990620772T 申请日期 1990.03.16
申请人 INMOS LTD., BRISTOL, GB 发明人 TEAGUE, MARTIN JOHN, MID. GLAMORGAN, GB;STRACHAN, ANDREW DEREK, CARDIFF, GB;HENRY, MARTIN ANDREW, CARDIFF, GB
分类号 H01L27/08;H01L21/225;H01L21/265;H01L21/266;H01L21/316;H01L21/8238;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L27/08
代理机构 代理人
主权项
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