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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07335669(A) 申请公布日期 1995.12.22
申请号 JP19940123852 申请日期 1994.06.06
申请人 MURATA MFG CO LTD 发明人 KADOTA KOJI
分类号 H01L21/28;H01L21/338;H01L29/417;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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