| 发明名称 |
SILICON OXIDE FILM FORMING METHOD AND SILICON SUBSTRATE PROVIDED WITH SILICON OXIDE FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07335644(A) |
申请公布日期 |
1995.12.22 |
| 申请号 |
JP19940125070 |
申请日期 |
1994.06.07 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
UDAGAWA SHOJI |
| 分类号 |
H01L21/304;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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