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经营范围
发明名称
DIFFUSION FURNACE
摘要
申请公布号
JPH07335573(A)
申请公布日期
1995.12.22
申请号
JP19940152823
申请日期
1994.06.11
申请人
SONY CORP
发明人
KUROKI TAKAYOSHI
分类号
H01L21/22;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205
主分类号
H01L21/22
代理机构
代理人
主权项
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